要超車台積電,三星宣布採用 EUV 技術 7 奈米製程完成驗證

作者 | 發布日期 2018 年 06 月 15 日 17:00 | 分類 GPU , Samsung , 晶片 follow us in feedly

在晶圓代工市場,台積電與三星的競爭始終是大家關心的戲碼。三星雖然有高通等 VIP 客戶,但在 7 奈米製程節點,高通預計會轉投台積電,三星要想受更多客戶的青睞,只能從製程技術著手了。這也是三星為什麼跳過非 EUV 技術的 7 奈米製程,直接上 7 奈米 LPP EUV 製程技術的原因。如今,三星終於公布了 7 奈米 LPP 製程已完成新思科技(Synopsys)物理認證,意味著 7 奈米 EUV 製程將可全球量產了。




目前全球前幾大晶圓代工廠商,英特爾 10 奈米製程還沒搞定,距離 7 奈米製程最遙遠。台積電 7 奈米製程量產比較順利,會有蘋果、海思、高通、NVIDIA、AMD 等客戶陸續流片、量產。台積電第一代 7 奈米製程,使用的還是傳統多重曝光技術,必須到 2019 年第 2 代 7 奈米製程才會使用 EUV 光刻技術。

格羅方德也走與台積電相似路線,預計 2018 年量產 7 奈米 DUV 製程還是傳統的深紫外光刻技術。對此,號稱頻率可達 5GHz 的 AMD 7 奈米 Zen 2 處理器會使用格羅方德的 7 奈米製程技術,2019 年初問世,2020 年再下一代才是 7 奈米 EUV 製程技術。

相對其他競爭對手,三星在 EUV 技術最積極。三星直接跳過第一代非 EUV 光刻 7 奈米製程,直接使用加入 EUV 技術的 7 奈米 LPP 製程,預定 2018 下半年正式量產。日前,新思科技與三星已聯合宣布,三星使用的 7 奈米 LPP 製程技術完成 IC 驗證器的認證。

三星完成這次認證之後,7 奈米 LPP 製程就可立即提供認證的技術資料,包括 DRC 設計規則檢查、LVS 布局與原理圖、金屬填充技術檔等予相關客戶,意味著三星的 7 奈米 LPP 製程正式進入量產階段。

目前 EUV 光刻技術競爭激烈,各家大廠搶 EUV 光刻機也成為重要目標之一。根據之前消息,ASML 的 EUV 光刻機,台積電訂購了約 10 台,三星訂購約 6 台,英特爾訂購 3 台,而格羅方德的 EUV 訂單數量不詳,中國中芯國際也訂了 1 台 EUV 光刻機,將用於 7 奈米製程技術研究,預計 2019 年初交貨。各家廠商都有 EUV 光刻機的情況下,似乎未來 7 奈米節點要勝出,就必須比較各家的技術與管理能力了。

(首圖來源:shutterstock )