特用化學及先進材料商英特格將協助台灣半導體業,解決越來越嚴格的製程淨化需求

作者 | 發布日期 2018 年 09 月 07 日 17:32 | 分類 晶片 , 材料、設備 follow us in feedly

半導體產業是台灣相當重的產業,圍繞晶片製造流程的公司相當繁多,新竹科學園區是重要的科技產業重鎮,也成為貢獻台灣經濟的要角。而英特格 (Entegris) 公司也許大家比較不熟,但在半導體製程中,提供製程材料過濾相關方案,以及進階物質處理,如提供晶圓片運輸的盒子,才能確保良率和污染物控制。



英特格台灣區總經理謝俊安介紹他們公司主要業務,與半導體相關公司業務略有不同的地方在於,英特格有 3 個比重差不多的事業群,特用化學、微污染純化、進階物質處理。一般來說上述其中一種業務,就足夠開公司了,但英特格則是少見 3 種業務合在一家公司,每一個事業群就一家公司規模了。這樣的公司狀況,優勢是可以英特格處理半導體製程材料過濾業務,然後運輸材料也由英特格處理,提供客戶更快速而且完整的服務。

同一種工業由於不是一家公司能吃掉所有業務,所以常形成產業聚落,英特格依照客戶需求設廠,在竹科有微污染純化和進階物質處理的業務,而在離竹科不遠的竹東,則有英特格台灣技術研發中心,從 2006 年到現在,協助客戶提供研發和分析服務。

在國際半導體展前夕,8 月 31 日宣布要在台投資加碼,投資台灣 600 萬美元,就是要在竹東的台灣技術研發中心,提升其研發規模。具體的投資項目為增加台灣技術研發中心引進 KLA SP3 晶圓檢測工具及相關設備。

不少企業高喊數位轉型口號,具體做法得將原先業務與資訊系統整合,造就更多晶片需求,不少傳統上不連網不配備晶片的設備得要有,也就意味晶片的效率得更好。另一方面,半導體製程往 7 奈米,甚至未來可能有 5 奈米、3 奈米製程,將會需要更新更純的材料需求,污染控制也就更相形重要。

半導體製程相當要求污染控制,所以空氣和水需要經過。而不同代的製程,如 28nm 與 7nm 相比,需要增加 100 倍的潔淨度,或是不純物的大小,要減少 4 倍的程度。

而新的 KLA SP3,一台就要 600 萬美元,配備 Class 10 無塵室及 ACT12 塗佈機。Class 10 無塵室只允許大於 0.5μm 粒徑的微塵粒子,十顆的程度。打個比方,講半導體製程需要的潔淨程度,必須要做到像是在新北市大小的地方,找到一顆硬幣。

不少台灣人怕 PM5 空氣污染物,在家中放空中清淨機過濾家中的空氣。但在半導體製程所需要空氣淨化的程度更高,而且也需要更高純度的用水。英特格的微污染防治方案,主要有用在廠房空氣過濾器,,以及用水濾心,如化學機械研磨 (CMP) 過濾器和奈米熔噴 (Nano Melt blown) 濾芯。再搭配廠房內或是跨廠之間的晶圓運送,進階物質處理業務,英特格比起其他友商比提供整合性的服務。

被問到目前英特格台灣市場狀況,謝總經理只能用類比的方式,與英特格全球市場如占 50% 的話,那台灣的市占更大。是否會進到台積電的供應鏈中,謝總經理說他們會持續精進他們的技術,提供工程上的解決方案。

(首圖來源:英特格)

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