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IC 縮小術!林本堅院士談光學微影如何把 IC 愈變愈小

作者 |發布日期 2022 年 08 月 29 日 8:30 | 分類 半導體 , 尖端科技 , 晶圓

自光學微影技術出現,積體電路(Integrated circuit,IC)體積跟隨著摩爾定律不斷縮小,到踏入 5 奈米量產的今日,IC 可說足足縮小了百萬倍!這成果並非一蹴可幾,而是多年來半導體研發人員和工程師的心血累積。中央研究院 111 年知識饗宴科普講座,林本堅院士以「光學微影縮 IC 百萬倍」為題,分享光學微影一路走來,如何將半導體元件尺寸愈縮愈小、推向極限。 繼續閱讀..