台積電 2021 年節省 4 億度年用電量,增加 248 萬公噸節水量

作者 | 發布日期 2022 年 07 月 01 日 7:00 | 分類 公司治理 , 半導體 , 晶圓 line share follow us in feedly line share
台積電 2021 年節省 4 億度年用電量,增加 248 萬公噸節水量


晶圓代工龍頭台積電表示,民國 110 年 (2021 年) 台積電藉「新世代機台節能行動專案」,成功省下 4 億度年用電量。節水措施及成果方面,晶圓單位產品廢水排放量相較前一年單位產品廢水排放量降低 8%,顯示強化廠區水回收與用水效率。

最新「台積公司 110 年永續報告書」提到,致力打造半導體綠色供應鏈,考量製程機台用電量占全公司能源使用 50% 以上,且先進機台數量逐年增加,民國 110 年台積公司「新世代機台節能行動專案」共提出 365 項節能行動方案,159 項節能方案通過驗證,應用於 119 種 5 奈米及 3 奈米先進製程機台。還針對17 種耗能元件,專案導入高效能零件與節能設計,成功省下 4 億度年用電量。

報告書表示,「新世代機台節能行動專案」每年舉行逾百場討論會,尋找機台節能的機會點與創新思維。針對耗電量前六大設備商,台積公司深入參與先進機台模組設計的節能理念、給予執行方針,並透過定期召開技術精進會議反覆驗證綠色效益,並將節能規範納入新機台採購標準規格,為全球第一家驅動設備商對先進機台導入節能措施的半導體企業,堅定邁向民國 119 年平均機台設備節能效益 20% 的永續目標。

除了節電成果,用水方面,民國 110 年因先進製程淨度需求提升與新建廠區啟動運轉,晶圓單位產品用水需求量增加,台積公司持續推動「提升系統產水率、廠務系統排水減量、增加廠務廢水回收、降低系統排水損失」四大節水措施,積極尋求節水機會點,以達最大節流效益。

民國 110 年,台積電透過節水措施維持製程用水穩定,整體回收系統增加 248 萬公噸節水量,晶圓單位產品用水量為 119.9(公升 ÷ 12 吋晶圓當量-光罩數),相較基準年(民國 99 年)140.9(公升 ÷ 12吋晶圓當量-光罩數)下降 14.9%,達成年度目標。晶圓單位產品廢水排放量為 78.9(公升 ÷ 12 吋晶圓當量-光罩數),相較前一年單位產品廢水排放量降低 8%,顯示台積電推動節水措施有效提升水回收效率、降低廢水排放量。

(首圖來源:shutterstock)