台積電將低耗能管路加熱系統導入先進製程，成功使機台加熱管減少約 25% 能耗，預計民國 114 年將導入台灣全數 12 吋晶圓廠區，估計每年可省 8,000 萬度電。
台積電導入低耗能管路加熱系統，估年省 8,000 萬度電 |
作者
中央社|發布日期
2020 年 12 月 31 日 16:00 |
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