ASML DUV 禁令對中國成熟製程產能有何影響？

美國與荷蘭政府近期聯手收緊對中半導體設備管制，ASML 不僅被禁止出口先進的 EUV，連主流的浸潤式 DUV 設備（如 NXT:2000i 及後續機型）也全面受限，甚至擴及至中階的 NXT:1970i 與 1980i 系列。更關鍵的打擊在於維修服務與零組件供應的許可證可能不再續約，這意味著中國晶圓廠現有的 ASML 設備面臨「斷供」風險，一旦零件損壞或需校準，產線恐將停擺。雖然中芯國際等大廠試圖透過多重曝光技術在 DUV 上實現 7 奈米生產，但缺乏原廠技術支援與精密零件，已直接威脅到其成熟製程產能的穩定性與良率表現。

這波禁令的核心動機在於從「設備買斷」轉向「運維封鎖」，試圖透過切斷售後體系來癱瘓中國半導體的存量產能。對中國而言，成熟製程是支撐其車用、家電及物聯網晶片的命脈，若無法取得 ASML 的原廠維護，即便擁有設備也難以維持高稼動率。雖然中國正加速推動國產 DUV 研發，但目前技術水準仍落後 ASML 約 15 年，短期內難以填補產能缺口。這將迫使中國晶圓廠轉向逆向工程或二手市場尋求零件，導致生產成本大幅攀升並降低國際競爭力。長遠來看，這將加速全球半導體供應鏈的「去中化」，使中國在成熟製程的擴張速度顯著放緩，進而重塑全球代工市場的份額分配。