應用材料(Applied Materials)針對 2 奈米及更先進的埃米(Angstrom)節點,推出一系列涵蓋沉積、蝕刻與材料改質的全新系統,旨在解決環繞式閘極(GAA)電晶體結構下的製造瓶頸。核心技術包含 Producer Viva 自由基處理系統,能對奈米片表面進行原子級精準工程;以及 Centris Sym3 Z Magnum 蝕刻系統,透過脈衝電壓技術實現高深寬比的 3D 溝槽控制。此外,應材首度導入鉬(Molybdenum)原子層沉積技術取代傳統鎢金屬,將接點電阻降低 15%,並透過 Endura Trillium 系統整合多道金屬沉積步驟,確保金屬閘極在極微小空間內的均勻度,全面支援 AI 晶片對高算力與低功耗的嚴苛要求。
應材這套佈局反映出半導體競爭已從單純的微縮轉向「材料工程」的深度競賽。隨著微影技術接近物理極限,設備商的價值不再僅是提供工具,而是具備定義新材料與複雜 3D 結構的能力。應材斥資 50 億美元打造 EPIC 中心,並與美光等大廠深度結盟,其戰略意圖在於縮短從實驗室到量產的週期,建立難以跨越的技術護城河。這種「由下而上」的選擇性沉積與原子級控制技術,不僅鞏固其在邏輯晶片的領先,更將影響力延伸至 HBM 與先進封裝領域。面對 ASML 在微影市場的強勢,應材透過掌握電晶體結構與佈線的關鍵材料變革,確保其在埃米時代依然穩坐半導體設備產業的制高點。