蘋果 Micro LED 專案「巨量檢修」陷瓶頸，歐司朗如何突圍？

德國聯邦政府和巴伐利亞邦正考慮支援艾邁斯歐司朗（ams-OSRAM），增加其雷根斯堡廠的光電元件研發投資。

根據外媒報導，歐司朗要求超過 3 億歐元補貼，這將可創造 400 個新的高科技就業機會。該公司將利用這筆資金加大研發力度，建設新無塵室、實驗室和試生產線。

這筆資金將用於支援多個專案，包括 UV-C LED、LiDAR 應用的 NIR 發射器、支援工業 4.0 應用的新元件及 Micro LED 顯示技術。此外，歐司朗也開始在雷根斯堡建一條 8 吋 Micro LED 晶圓試生產線。

雖然歐司朗早在 2019 年就和蘋果在實驗室合作 Micro LED 專案，但製程上仍陷瓶頸。這款 Micro LED 晶片尺寸約 8um，採垂直晶片結構，因此巨量檢修難度相當高，歐司朗也為此頭痛不已，加上 Micro LED 成本仍是一大考驗，業界預期 Micro LED 搭載的 Apple Watch Ultra 手錶，量產時間恐延至 2026 年第一季。

歐司朗於 2021 年宣布投資 8.5 億美元擴建馬來西亞 Kulim 的 LED廠，計畫在該地 8 吋晶圓廠上投產 Mini LED 和 Micro LED 晶片，預計明年量產，用於小尺寸設備。

值得注意的是，歐司朗今年初也與半導體沉積設備領先供應商愛思強（Aixtron）宣布，愛思強的系統設備為下一代高解析度 Micro LED 顯示器鋪平道路。其中，愛思強的 MOCVD 系統有望協助 Micro LED 批量生產。

歐司朗稱，這項全新工具是世界首款全自動 AsP 反應器，提供全自動「檢測盒到檢測盒」（cassette-to- cassette）晶圓裝載以及基於原位蝕刻的清潔機制。這兩個特性結合在一起會對成品率產生顯著影響。此外，間歇式反應器技術還為愛思強系統帶來了多項優勢：其每片晶圓的生產成本在當前市場上屬於最低級別，而單位潔淨室面積輸送量為最高級別。同時，該新工具擁有精確的流量和溫度控制功能，能在連續運行時保持非常好的材料均勻性。

目前這項設備能否解決瓶頸仍有待觀察，不過歐司朗執行副總裁兼光電半導體業務負責人 Robert Feurle 表示，對於任務艱巨的專案，例如開發和生產適用於 AsP 和 GaN 元件的 Micro LED，愛思強正是歐司朗需要的合作夥伴。