半導體設備大廠科林研發（Lam Research）宣布，近日與國立成功大學智慧半導體及永續製造學院合作，為碩博士生開設「半導體製程技術原理與應用」課程。
科林研發指出，此課程象徵公司在培育未來半導體人才上，正式將產業專業知識導入台灣高等教育體系的重要一步。此課程由台灣科林研發技術專家團隊共同授課，並由科林研發台灣區總經理郭偉毅博士參與指導，為學生提供專業且全面的基礎半導體製程知識。
課程內容聚焦於半導體製造的關鍵技術，除介紹電漿蝕刻的基本概念與應用外，也協助學生掌握微影製程圖案轉移與高深寬比結構製造的核心原理，同時更探討晶圓表面污染控制等化學清洗的重要性，為學生打下紮實根基。
此外，課程也強調介電質與金屬薄膜在晶片製造中的關鍵角色與挑戰，並講解電漿增強式化學沉積（PECVD）、原子層沉積（ALD）及金屬化學沉積（Thermal Metal CVD）等鍍膜技術，如何協助滿足先進 IC 設計需求。為強化學習成效，每堂課皆安排重點複習，協助學生鞏固晶圓製造的核心原理與應用。
這項課程由科林研發台灣區總經理郭偉毅與成功大學智慧半導體及永續製造學院的半導體製程學位學程的授課師資共同推動。郭偉毅指出，透過讓學生在學習階段接觸頂尖技術與產業趨勢，科林研發希望為培養下一代半導體專業人才提供最大的幫助。這次與成功大學合作開設的學分課程，是科林研發持續深耕培育新一代創新人才的重要里程碑。
成功大學智慧半導體及永續製造學院的半導體製造技術學程副主任劉瑞農指出，透過科林研發講師的授課，學生得以從產業視角了解半導體關鍵製程。期待未來持續深化雙方合作，攜手開設更多元的課程，進一步推動台灣半導體產業的永續發展。
（首圖來源：科林研發）
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