在挪威卑爾根,Lace Lithography 這家新創公司於今年 3 月成功籌集了 4,000 萬美元的 A 輪資金,這筆資金由 Atomico 領投,並獲得了微軟 M12 風投部門、Linse Capital、Nysnø 以及西班牙技術轉型協會的參與。Lace Lithography 專注於開發氦原子束微影技術,這項技術使用的氦束寬度僅為 0.1 奈米,這是 ASML 的極紫外光(EUV)光束的 135 倍窄,能夠刻畫出比現有系統小 10 倍的晶片特徵,這可能會延續摩爾定律,特別是在下一代人工智慧硬體的需求上。
Lace Lithography成立於2023年7月,由卑爾根大學的物理學家博迪爾·霍爾斯特(Bodil Holst)及其前博士生Adria Salvador Palau共同創立。Holst的背景涵蓋奈米級成像、二維材料及分子束微影研究,目標是挑戰ASML在先進微影工具市場的近乎壟斷地位,這些工具的價格超過3.5億美元。
這項氦原子束技術能夠實現原子級的圖案化,遠超過EUV的波長限制,並滿足對於人工智慧晶片中更密集電晶體的需求,尤其是在地緣政治推動半導體多元化的背景下。Lace已經建造了原型系統,並計劃在2029年之前在試點工廠中部署測試工具,這一計畫是在今年2月的微影峰會上提出的。
Holst表示:「這項技術可能擴展設計的路線圖,並使目前系統無法實現的設計成為可能。」這項技術的潛力被認為能夠重塑半導體製造業。隨著人工智慧需求和供應鏈問題推動投資,Lace正處於這個高風險行業的競爭者行列,面對實驗室突破需要轉化為生產的挑戰。
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(首圖來源:shutterstock)






