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大面積單晶技術大突破,台積電與交大登上國際頂尖期刊

作者 |發布日期 2020 年 03 月 17 日 15:15 | 分類 尖端科技 , 晶圓 , 材料

在科技部「尖端晶體材料開發及製作計畫」長期支持下,國立交通大學(交大)的研究團隊與台灣積體電路製造股份有限公司(台積電)合作組成的聯合研究團隊,在共同進行單原子層氮化硼的合成技術上有重大突破,成功開發出大面積晶圓尺寸的單晶氮化硼之成長技術,未來將有機會應用在先進邏輯製程技術,傑出的基礎科學研究成果於今年 3 月榮登於全球頂尖學術期刊《自然》(Nature)。 繼續閱讀..