根據外媒報導,曝光機大廠艾司摩爾 (ASML) 交貨了第三代標準型極紫外(EUV)曝光機,新設備型號為 Twinscan NXE:3800E,配備了 0.33 數值孔徑透鏡。該設備相較於之前型號為 Twinscan NXE:3600D 的標準型曝光機,性能有了進一步的提高,可以支援未來幾年 3 奈米及 2 奈米製程的晶片製造。
ASML 第三代標準 EUV 曝光機問世,每套價格約 1.8 億美元 |
作者 Atkinson|發布日期 2024 年 03 月 18 日 18:45 | 分類 IC 設計 , 半導體 , 國際觀察 |