威科儀器（Veeco）與比利時微電子研究中心（imec）今日宣布，雙方已經合作開發一套與 12 吋晶圓相容的量產製程，能夠實現鈦酸鋇（BaTiO3或BTO）在矽光子平台上的整合。
威科儀器和 imec 開發 12 吋相容製程，成功把鈦酸鋇整合到矽光子 |
作者
Atkinson|發布日期
2026 年 01 月 30 日 12:00 |
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