浙江大學余杭量子研究院研發的 100kV 電子束（EBL）曝光機「羲之」，號稱性能已能媲美國際主流設備，同時售價低於國際平均水準，但生產效率仍顯不足。 繼續閱讀..
中國曝光機「羲之」，精度逼近 ASML 卻難量產 |
作者
蘇 子芸|發布日期
2025 年 08 月 19 日 11:50 |
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