半導體奈米級製程，台灣首個試劑驗證系統上線

因應國內半導體奈米級製程需求，經濟部標準檢驗局設置的國家度量衡標準實驗室開發首項鉛元素參考物質，將有助廠商降低自有檢測設備校正及試劑檢測成本。

標檢局今天發布新聞稿表示，國家度量衡標準實驗室新設「靜態重力法無機元素供應驗證系統」，推出國內首項依據 ISO17034 品質規範生產的鉛元素參考物質，有助國內電子級試劑污染物分析計量追溯。

半導體奈米製程被視為是未來重要趨勢，標檢局官員說明，為因應將來大量需求，提早在國內建置相關檢測能量，根據國家度量衡標準實驗室網站公布資訊，每次提供鉛標準液及報告的費用為新台幣 8,000 元，較國外檢測費用低廉，也可節省運送費用及等待時間。

標檢局指出，半導體奈米製程對多項污染物非常敏感，因此對製程中所使用試劑含有的微量金屬污染物品管要求日漸嚴苛，這項新開發的靜態重力法無機元素供應驗證系統利用滴定方式，進行液態鉛元素參考物質濃度驗證，可供應 1,000 mg/kg ± 2 mg/kg 鉛元素參考物質，並可依照廠商要求調整。

官員表示，實驗室提供驗證系統都與其他國家標準進行比對，與美國及日本生產的驗證參考物質具技術等同性，相對不確定度均小於 0.2%。

標檢局表示，實驗室自即日起接受 3 個月內電話預約服務，可洽詢實驗室預約專線（03）573-2243 及（03）573-2244，並可上國家度量衡標準實驗室網站查尋新系統詳細校正規格、範圍及費用訊息。

（作者：廖禹揚；首圖來源：經濟部標準檢驗局）