台積電導入低耗能管路加熱系統,估年省 8,000 萬度電

作者 | 發布日期 2020 年 12 月 31 日 16:00 | 分類 晶圓 , 零組件 , 電力儲存 Telegram share ! follow us in feedly


台積電將低耗能管路加熱系統導入先進製程,成功使機台加熱管減少約 25% 能耗,預計民國 114 年將導入台灣全數 12 吋晶圓廠區,估計每年可省 8,000 萬度電。

台積電表示,供應晶圓生產機台的氣體管路,以往為避免管線內部形成結晶、造成堵塞,必須在機台運作期間,對管路外部的加熱設備不斷供電以維持管路表面高溫,確保管線通暢。

傳統套件僅著重於管線的加熱功能,而忽略表面材質的保溫表現,導致熱能易失而造成電力浪費。台積電節能團隊與供應商合作,運用以往主要應用於建築物隔熱的氣凝膠材質,取代玻璃纖維做為供氣管路外層,成功開發低耗能管路加熱系統。

台積電今年 3 月將低耗能管路加熱系統在晶圓 15 廠第 7 期試用,有效降低管路表面溫度,減少 25% 能耗,廠務處新廠設計部並將系統列為新建廠區的標準設施,將於 110 年導入晶圓 18B 廠 3 奈米及 2 奈米製程。

台積電規劃既有的國內 12 吋晶圓廠區將於 114 年前完成系統更新,估計屆時每年將可減省 8,000 萬度電。

針對揮發性有機氣體削減,台積電攜手供應商,採用沸石濃縮雙轉輪系統技術,將原經過第一道轉輪吸附並燃燒後的高濃度製程廢氣,新增第二道轉輪濃縮流程後再送回第一道轉輪反覆處理,成功使揮發性有機氣體削減率達 99.5%。

台積電將沸石濃縮雙轉輪系統列為未來新建廠區的標準設備,109 年已完成建置於晶圓 15B 廠、晶圓 18A 廠,預計 110 年第一季完成晶圓 18B 廠建置,逐步朝向智慧綠色生產環境目標邁進。

(作者:張建中;首圖來源:科技新報)

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