永續淨零趨勢下，半導體製程設備廢水處理及再生技術成為發展關鍵。經濟部表示，全球前 20 大半導體製程廢水處理專利申請人，有 12 家日本企業，占比達六成、為最大宗，台灣的工研院、兆聯實業和力積電也擠進排行榜。
鑑於國內半導體產業為落實水資源管理，致力研發廢水回收及水資源再生相關技術，經濟部智慧財產局25日發布「半導體製程設備廢水處理及再生技術的專利趨勢研究」，探討半導體廢水處理領域的關鍵技術和專利趨勢。
智慧局表示，透過廢水回收和水資源再生技術，全球半導體產業在水資源永續發展取得顯著進展。台灣作為全球半導體零組件主要生產國家，擁有完善的產業鏈及技術基礎，相關研發成果不遜於美國、日本及歐洲等先進國家。
觀察全球前20大申請人及其案件量，報告指出，日本申請人達12家為最大宗、占比六成，主要為大型跨國企業；台灣則有工研院、兆聯實業和力積電3家擠進排行榜，中國也有3家公司和國營事業入榜，占比皆為15%；此外，美國奇異電子、法國威立雅也列名前20大申請人。
（Source：經濟部智慧財產局）
報告進一步分析，各國產業型態各有不同，歐美、日本等先進國家擁有歷史悠久的大型電器、淨水設備或相關材料製造的企業，研發量能投入較早，學研機構或規模較小的公司則較為少見。
至於中國雖起步較晚，但國家政策鼓勵或補助後，小型或新創公司於2005年後如雨後春筍般冒出，相關技術的專利申請量後來居上。
報告顯示，台灣為半導體製造生產大國，具有完善的產業鏈及優良的企業文化，且近年來對於ESG、永續發展與循環經濟等議題的重視，國內半導體大廠皆致力廢棄物的回收，及再生或再利用的執行或技術研發，廢水回收及水資源再生相關技術為其中重要項目，因此台灣發展的模式主要由半導體大廠所主導，並與國內相關企業或學研機構共同合作研發相關技術。
半導體處理廢水關鍵技術方面，報告指出，相關技術通常非僅使用單一技術，其中以物理或化學處理的相關技術發展較早，投入機構或專利申請量都相對來得多，技術發展相對成熟，目前主流技術以逆滲透法、微/超/奈濾法及高級氧化法、混凝沉澱法或離子交換法為主。
生物處理部分，主要是利用微生物的特性，將廢水中的污染物降解並轉化成無害的物質，其具有可大規模且低成本處理廢水的特性，因此極具經濟價值，為全球各大相關產業研發的重點項目之一。
（作者：劉千綾；首圖來源：Pixabay）
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