台積電將低耗能管路加熱系統導入先進製程，成功使機台加熱管減少約 25% 能耗，預計民國 114 年將導入台灣全數 12 吋晶圓廠區，估計每年可省 8,000 萬度電。
台積電表示，供應晶圓生產機台的氣體管路，以往為避免管線內部形成結晶、造成堵塞，必須在機台運作期間，對管路外部的加熱設備不斷供電以維持管路表面高溫，確保管線通暢。
傳統套件僅著重於管線的加熱功能，而忽略表面材質的保溫表現，導致熱能易失而造成電力浪費。台積電節能團隊與供應商合作，運用以往主要應用於建築物隔熱的氣凝膠材質，取代玻璃纖維做為供氣管路外層，成功開發低耗能管路加熱系統。
台積電今年 3 月將低耗能管路加熱系統在晶圓 15 廠第 7 期試用，有效降低管路表面溫度，減少 25% 能耗，廠務處新廠設計部並將系統列為新建廠區的標準設施，將於 110 年導入晶圓 18B 廠 3 奈米及 2 奈米製程。
台積電規劃既有的國內 12 吋晶圓廠區將於 114 年前完成系統更新，估計屆時每年將可減省 8,000 萬度電。
針對揮發性有機氣體削減，台積電攜手供應商，採用沸石濃縮雙轉輪系統技術，將原經過第一道轉輪吸附並燃燒後的高濃度製程廢氣，新增第二道轉輪濃縮流程後再送回第一道轉輪反覆處理，成功使揮發性有機氣體削減率達 99.5%。
台積電將沸石濃縮雙轉輪系統列為未來新建廠區的標準設備，109 年已完成建置於晶圓 15B 廠、晶圓 18A 廠，預計 110 年第一季完成晶圓 18B 廠建置，逐步朝向智慧綠色生產環境目標邁進。
（作者：張建中；首圖來源：科技新報）
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