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KLA-Tencor 宣佈推出新型 Teron™ SL650 光罩檢測系統

作者 |發布日期 2014 年 05 月 22 日 10:22 | 分類 市場動態 , 會員專區

高產能和 193nm 技術有助於積體電路晶圓廠

經濟有效地監測 20nm 以下設計節點光罩

KLA-Tencor 公司今天宣佈推出 Teron™ SL650,該產品是專為積體電路晶圓廠提供的一種新型光罩品質控管解決方案,支援 20nm 及更小設計節點。Teron SL650 採用 193nm 照明及多種 STARlight™ 光學技術,提供必要的靈敏度和靈活性,以評估新光罩的品質,監控光罩退化,並檢測影響良率的光罩缺陷,例如在有圖案區和無圖案區的霧狀增長或污染。此外,Teron SL650 擁有業界領先的產率,可支援更快的生產週期,以滿足檢驗更多數量的先進多重曝光成型光罩的需要。 繼續閱讀..