隨著消費性及車用等電子產品愈趨精密化，MEMS（微機電系統）在其中扮演的角色也愈更加吃重。其中鋯鈦酸鉛（Pb(ZrxTi1-x)O3，PZT）材料由於具有較佳的壓電性質，並容易結合矽質微細加工（micro fabrication），現階段以 PZT 壓電薄膜所開發的微致動器在應用方面，廣泛受到注目的有微型揚聲器（Microspeakers）、自駕車及元宇宙的關鍵元件微掃描面鏡（Micro Scanning Mirrors）等等。
引領消費性電子產品精密化關鍵元件，從實際案例探討全新 MEMS 技術開發成果 |
作者
TechNews|發布日期
2022 年 12 月 26 日 9:05 |
|
