台積電減少熱水浪費有成，11 個月省電 1,400 萬度

晶圓代工廠台積電打造晶圓清洗機台熱水循環系統，成功減少 80% 熱水浪費，至 11 月已完成 29 組熱水設備改良，共省下 1,400 萬度電。

台積電 12 月企業社會責任電子報今天出爐，台積電指出，供應晶圓清洗機台熱水的熱水設備，以往為避免管線內形成死水、造成雜質污染，在機台未運作期間，仍不斷輸出熱水，確保管線通暢。

為有效控管熱水設備用電量，台積電營運技術委員會與機台承攬商攜手研究改良方案，利用熱水循環的概念，在原供水管路加裝一道儲熱水槽，連接機台端未經使用過的熱水排放管路，有效回收未經使用過的熱水。

改良的熱水設備，經台積電研發組織驗證後，已優先在晶圓 18 廠使用，未來將全面推廣至晶圓 12 廠、晶圓 14 廠及晶圓 15 廠等 12 吋晶圓廠區。

台積電估計，每台改良的熱水設備可以省下約 30% 耗能，自今年 1 月起至 11 月已節省 1,400 萬度電，預計民國 114 年以前可省下 1 億度電。

台積電在強化用水效率方面也頗有成效，12 月獲可持續水管理（AWS）授證，成為首家 AWS 白金級認證的半導體廠，評鑑結果 114 分，還創下史上最高分紀錄。

同時，台積電導入機械式蒸汽再壓縮技術，將硫酸銨廢液轉製為有價值的工業級硫酸銨結晶產品，截至 11 月已減少原先需委外處理的廢硫酸約 9.4 萬噸、硫酸銨廢液約 1,200 噸，創造約新台幣 1.4 億元的效益。

台積電預計於 111 年達到 100% 循環再生，開創硫酸銨廢液零委外的減廢里程碑。

台積電表示，與上下游供應商攜手持續精進，驅動產業與供應鏈正向改變，參與零配件清洗廠輔導暨提升計畫的科治新技，6 年來已自原先的鐵皮工廠，蛻變為台積電 A 級績優廠商，也成為國際半導體廠跨海來台指定合作對象。

（作者：張建中；圖片來源：台積電）