Edwards 新型大容量渦輪分子真空泵最大化提升性能

尖端技術改進氣體流動能力和高溫管理 以防止粉末沉澱

全球領先的真空設備和尾氣處理系統製造商及相關增值服務供應商 Edwards Limited 今天推出了其 STP-iXA4506 大容量渦輪分子泵 (TMP)。這款產品旨在為半導體、平板顯示器、LED 和太陽能電池板製造商節省更多成本。

Edwards TMP 產品行銷經理 Shinichi Yoshino 表示：「新型 STP-iXA4506 渦輪泵是擁有改良抽氣性能的一體化解決方案。它採用了 Edwards 最新的轉子設計和成熟且高度可靠的 iXA 系列機載控制器，使容許的通過的氣量最大化，從而使高流量過程所需的渦輪泵數量減至最小，尤其是在太陽能和平板應用中。泵集成的控制器免去了對線纜和獨立控制器機架的需求，因而也節省了成本，體積緊湊易於在各種應用中快速安裝。此外，就像我們所有的磁浮式渦輪泵一樣，無需機械軸承的特性幾乎免除了定期維護的成本。”

這款渦輪泵的高抽速度  (4300 l/s N2)  和高流量  (高達4300 sccm N2)  結合其有效抽吸輕氣體和重氣體的能力，使 STP-iXA4506 非常適用于許多不同的大流量、高流動性應用，包括半導體蝕刻、LCD 蝕刻、玻璃鍍膜、太陽能 PVD 和 PVD 鍍膜。其高整合度的設計包括一個完全密封的電子模組，以在最嚴苛的工廠環境中實現穩健、可靠的操作。需要時還可增加一套加熱系統，以減少來自製程中副產物的沉積物和微粒的堆積。