KLA-Tencor 推出 5D 圖案成型控制解決方案的關鍵系統

作者 | 發布日期 2014 年 08 月 27 日 17:06 | 分類 市場動態 , 會員專區 Telegram share ! follow us in feedly


KLA-Tencor 公司今天宣佈,推出 WaferSight PWG 已圖案晶圓幾何形狀測量系統、LMS IPRO6 光罩圖案位置測量系統和 K-T Analyzer 9.0 先進數據分析系統。這三種新產品支援 KLA-Tencor 獨特的 5D 圖案成型控制解決方案,此方案著重於解決圖案成型製程控制上的五個主要問題 — 元件結構的三維幾何尺寸、時間效率和設備效率。

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