法國新創公司 Aledia 攜手 CEA-Leti,讓 Micro LED 生產走向 12 吋晶圓

作者 | 發布日期 2020 年 12 月 23 日 11:24 | 分類 光電科技 , 奈米 , 尖端科技 Telegram share ! follow us in feedly


Micro LED 晶粒有望在 12 吋矽晶圓上生產。法國新創公司 Aledia 近日宣布,與法國研究單位 CEA-Leti 成功在 12 吋矽晶圓上生產 Micro LED 晶粒;如此一來,可望提供更好的成本效益,且更容易與採用先進製程的電子產品(Electronics)整合。

據悉,傳統的平面 Micro LED(2D MicroLED)是在 4 吋或 6 吋的藍寶石基板上,透過沉積氮化鎵晶體薄膜(Depositing flat layers of gallium-nitride GaN crystal)生產而來;而 Aledia 的 Micro LED,則是藉由在矽基板上成長出氮化鎵奈米線(Grows GaN nanowires)的方式而來。

▲ Aledia 和 CEA-Leti 聯手在 12 吋晶圓上生產 Micro LED。(Source:Aledia

Aledia 表示,過往平面 Micro LED 會有應力限制,且這種應力會隨著晶圓尺寸的增加累積;但採用這種 3D 奈米線的技術,便不會受應力限制,所以相較於平面的 Micro LED,可以使用更大尺寸的晶圓生產,並與標準的矽製程銜接。因此,Aledia 的 3D LED 可在一般的矽晶圓廠製造,不僅產量大幅增加,同時也能確保高良率。

事實上過去 8 年,Aledia 都是在 8 吋晶圓上開發 Micro LED 技術,但藉由 3D 結構,日後 Micro LED 晶粒可望改用 12 吋晶圓生產。Aledia 執行長 Giorgio Anania 表示,一片 12 吋晶圓,約可以生產 60~100 片智慧型手機顯示面板,而目前大多數 LED 業者使用的 4 吋藍寶石晶圓,只能生產 4~6 片智慧型手機面板。而透過 Aledia 獨有的 3D 結構,便可用一般矽晶圓製程與設備生產。

Anania 進一步補充,能在標準矽晶圓廠製造,是 Micro LED 顯示技術大量生產、加速普及的關鍵,透過矽晶圓廠的產能和供應鏈,才能滿足顯示市場的大需求。舉例來說,假設 60 吋以上電視大量導入基於 3D LED 的 Micro LED 面板,每年就需要 2,400 萬片的 12 吋晶圓,這還不包括智慧型手機、筆記型電腦和平板所需的小尺寸面板。所以,只有矽晶圓廠和供應鏈,才能有如此龐大的生產能力。

(首圖來源:三星)