三星研發智慧監控設備，2030 年晶片產線無人化

韓國媒體報導，三星電子正在開發智慧感測系統，提高產量並改變半導體晶圓廠經營方式。系統可監控和分析生產過程，最終目標為 2030 年晶圓廠完全自動化，無需人工操作。

三星要達到 2030 年完全無人監控半導體產線目標，需開發管理大量數據，並自動最佳化設備性能的系統。智慧感測系統是重要部分，也是智慧化且全自動晶圓廠關鍵。三星為達到目標，將斥資數億韓圜。

三星正在開發的智慧感測系統，是以測量晶圓上等離子體均勻性為主，是半導體生產關鍵步驟，因半導體製造蝕刻、沉積和清潔等成功與否，很大程度受等離子體均勻性影響。

智慧感測器將在韓國設計和製造。現階段三星等韓國晶片製造商，還是嚴重依賴外國工具發展先進製程，智慧感測器若生產本土化，代表重大進步，也是三星等韓國科技廠商逐漸擺脫外國依賴的象徵。

(首圖來源：三星)