康寧今（1 日）推出 Corning EXTREME ULE Glass，新材料能協助晶片製造商滿足智慧型裝置與 AI 驅動技術快速成長需求，幫助晶片製造商改進光罩（用於晶片設計的模板），這對於量產現今最先進、最具成本效益的晶片至關重要。
康寧設計的 EXTREME ULE Glass 可承受最高強度的極紫外光（EUV）黃光製程技術，包括高數值孔徑（High NA）EUV，這項技術正迅速成為產業標準。EUV黃光製程技術允許製造商使用最先進的光罩來對最小、最複雜的晶片設計進行圖案化和印刷。該製程需要極高的熱穩定性和均質的玻璃材料，以確保製造效能一致。
康寧先進光學副總裁暨總經理 Claude Echahamian 指出，隨著人工智慧的興起，對於積體晶片製造的需求日益增長，玻璃技術的創新比以往任何時候都更加重要。康寧 EXTREME ULE® Glass 將有助於實現更高功率的EUV製造和更高的良率，在追求摩爾定律中擴大康寧所扮演的積極角色。
EXTREME ULE® Glass 熱膨脹特性有助於在所有光罩中提供卓越的一致性和效能。此外，玻璃出色的平整度和均質性大幅降低了光罩波度（waviness），有助於製造商控制不必要的變因，並幫助高階鍍膜的應用。
EXTREME ULE® Glass 標誌著康寧超低膨脹（ULE）玻璃產品組合的進化，ULE® 是一種二氧化鈦矽酸鹽玻璃材料，具有接近零的膨脹特性，長期以來一直用於 EUV 光罩和反射鏡。透過使用其創新的玻璃成型製程，康寧預期減少生產過程中使用的能源和產生的廢棄物，有助於永續發展。
（首圖來源：科技新報）
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