科林研發推協作機器人 Dextro，用於晶圓廠設備維護

科林研發（Lam Research）週二（10 日）推出協作機器人（cobot）「Dextro」，可準確且可重複維護晶圓製造工具。

一般的晶圓製造設備中有數百種工具需要定期維護。工具維護精確度非常重要，因為子系統的精確組裝會直接影響產量，人類的精確度雖不如機器，但直到最近仍會以人工進行維修。

Dextro 是一款移動機器人裝置，其手臂配備可互換的末端執行器，用於執行三項關鍵維護任務。協作機器人安裝耗材元件的精確度是手動安裝的兩倍以上，確保組裝正確，並改善晶圓邊緣的蝕刻效能，還可按照精確的規格擰緊高精度真空密封螺栓，將手動錯誤率降低 5%，防止可能中斷生產的溫度偏差。

此外，Dextro 還可安全清除腔室壁上堆積的聚合物，不需要工程師使用厚重的呼吸防護裝備，不過 Dextro 還不能取代仍在控制裝置的技術人員。目前 Dextro 與科林研發的 Flex G 和 H 系列介電蝕刻工具相容，該公司計劃 2025 年前將兼容性擴展至更多工具。

Dextro 現已在全球多個先進的半導體晶圓廠投入使用，確保改善一次成功（first-time-right，FTR），減少維護錯誤。

科林研發的協作機器人目的是以準確性和可重複性，執行高精度維護任務，因為使用人工進行維護容易出錯，透過自動化重覆而複雜的工作，Dextro 可解決工程師人員短缺、現代晶圓製造設備日趨複雜等問題，另外還可減少浪費、耗材及因生產中斷損失的時間，增加工具的正常運作時間。

三星電子副總裁兼記憶體蝕刻技術團隊主管 Young Ju Kim 表示，當製造設備需要維護時，必須快速有效地完成工作，避免設備停機時間延長和成本浪費。Dextro 無誤維護有助提高生產變異性和良率。

• Cobots Lend a Much-Needed Hand for Error-Prone, Challenging Maintenance Tasks
• Lam Research unveils Dextro, a maintenance robot for fabs

（首圖來源：影片截圖）