先進封裝混合鍵合興起，韓國檢測設備業者 AFM 受青睞

以原子力顯微鏡（AFM）為主力的韓國奈米檢測設備業者 Park Systems 正受到全球晶片製造商的熱烈追捧，因為該設備是混合鍵合所使用的必備設備。

目前三星、SK 海力士、台積電、美光和鎧俠（Kioxia），都準備在晶片上應用混合鍵合技術。Park Systems 執行副總裁 Cho Sang-joon 接受採訪時指出，已向部分晶片製造商提供測試設備，正與準備應用混合鍵合技術公司進行洽談，這項最新的晶片封裝技術有望得到廣泛應用。

混合鍵合不使用凸塊（bump）或導線來連接基板和晶片，而是採用精密的銅對銅互連，大幅提升封裝 I/O 的數量。該技術的成功關鍵在於化學與機械拋光（CMP）的精準度，為了確保拋光達到理想效果，可採用原子力顯微鏡（AFM）進行檢測。與傳統利用光學或電子間接量測的顯微鏡不同，AFM 使用機械探針進行直接量測，能提供更高的精度與可靠性。

Cho Sang-joon 認為，AFM 發展仍處於早期階段，其應用具有「無盡潛力」。目前推出市場的 AFM 中，三分之一用於研究，其餘則用於工業應用。該公司供應的 AFM 將反映在 Park Systems 今年營收中，預期三年內占總營收 40% 以上。至於 2024 年的營收預期為 1,700 億韓圜，並將營收 13% 用於研發。

Park Systems 成立於 1997 年，創辦人 Park Sang-il 是史丹佛大學 1985 年發明 AFM 團隊的成員。