日本研發木基光阻劑，具環保效能可滿足 2 奈米製程需求

日本兩大紙業巨頭之一的王子控股 （Oji Holdings） 正在向成為一家木製材料綜合企業轉型，其最新目標是開發一種採用木基生物質材料的正性光阻劑，目標是到 2028 年達成商業化。

根據日本媒體報導，王子控股在光阻劑生產上的技術路線，原則是從木材中提取可用於光阻劑的前體材料，然後將前體材料和特定溶劑混合聚合、並採用淨化技術去除雜質之後，這樣就得到了光阻劑的成品。對此，王子控股宣稱其木基光阻劑可滿足 2 奈米先進制程需求，這代表的也是針對日本新創晶圓代工廠商 Rapidus 的商機而來。

事實上，傳統的正性光阻劑通常需要添加有害的永久化學品 PFAS 來提高光敏感度。而王子控股的木基光阻劑在 EUV 極紫外光下的降解速率，相較傳統產品高出 8 倍，特性取消了了 PFAS 的使用需求，而且更為環保的同時也可提升先進製成圖案化的品質。

此外，傳統光阻劑多為石油基塑膠製品，木基光阻劑在生產原料上也可降低了溫室氣體的排放數量。王子控股表示，其在木基光阻劑上的商業目標是到 2030 年之前每年達到 100 億日圓的銷售金額。

(首圖來源：shutterstock)