美中半導體戰再度燒向全球最關鍵設備商 ASML。據《彭博社》報導，美國商務部長盧特尼克近期在一連串會議中，向荷蘭半導體設備大廠 ASML 高層表達關切，質疑該公司最先進的極紫外光微影設備，也就是 EUV，可能已流入中國。若相關疑慮屬實，將代表美國主導的半導體出口管制出現重大破口。
ASML 則強烈否認這項說法，該公司表示，從未向中國出貨任何 EUV 設備，也沒有出貨任何專門設計用於 EUV 系統的零組件、模組或設備，並強調完全遵守美國與荷蘭相關出口管制規範。ASML 也指出，該公司持續與各國政府溝通，並依照不斷演變的出口規則執行合規作業。
EUV 之所以成為美中科技戰最敏感的設備，關鍵在於它幾乎是先進製程晶片量產的核心門票。台積電、三星、英特爾等晶圓大廠，都仰賴 ASML EUV 設備製造高階晶片，包括 AI 加速器、先進手機處理器與高效能運算晶片，也因此美國長年推動荷蘭限制 ASML 對中國出口 EUV，避免中國取得生產先進晶片所需的關鍵工具。
自第一任川普政府時期以來，在美國與荷蘭出口管制下，ASML 一直被禁止向中國出貨 EUV，中國雖可透過成熟製程、DUV 多重曝光與本土設備發展部分晶片製造能力，但在最先進製程上，缺乏 EUV 仍被視為最大瓶頸之一，這也是為何美方此次質疑一出，立即引發半導體產業關注。
不過目前美國方面並未公開具體證據，也不清楚華府希望 ASML 提供哪些資訊，才能消除中國是否擁有 EUV 設備的疑慮。這讓 ASML 陷入微妙處境，該公司不僅要反駁指控，還必須說明一件「不存在的事」，也就是中國境內沒有任何 ASML EUV 設備。
從設備特性來看，EUV 並不是容易被秘密轉移或藏匿的機器，畢竟一台 EUV 系統體積龐大，重量可達約 180 噸，安裝、校準、維護與後續運作都高度仰賴 ASML 工程團隊。相關設備產量有限、客戶高度集中，且需要長期服務支援，並不像一般零組件可以輕易拆分、轉手或繞道流入其他市場。
這也是 ASML 反駁的重點之一，若完整 EUV 設備真的出現在中國，理論上不只是出口管制問題，也會牽涉設備安裝紀錄、維護服務、零組件供應、軟體支援與客戶資料等一整套系統性痕跡。換言之，完整機台要在沒有 ASML 掌握的情況下進入並運作，難度極高。
但美方疑慮仍反映一個更大的趨勢，半導體出口管制正在從「禁止設備出貨」進一步走向「追蹤設備流向、零組件用途與客戶合規」的新階段。過去美國對中國的管制重點多放在高階晶片、先進製程設備與關鍵軟體；如今隨中國持續尋求突破先進製程瓶頸，相關管制也更深入設備供應鏈細節。
對 ASML 而言，這起事件不只是一次合規說明，更是地緣政治壓力測試。ASML 是全球唯一能量產 EUV 設備的公司，也是歐洲半導體產業最具戰略價值的企業之一。它一方面要遵守美國與荷蘭出口限制，另一方面也必須維持全球客戶信任，避免被美中科技戰直接捲入政治指控。
對中國而言，EUV 仍是先進晶片自主化最難跨越的一道門檻，即使中國近年積極投入半導體設備國產化，也透過成熟製程擴產、DUV 設備利用與供應鏈本土化提升自主能力，但要在 EUV 這類極高精密度設備上追上 ASML，仍需要光源、反射鏡、真空系統、控制軟體、製程整合與量產穩定度等多重突破。
對台積電等先進製程大廠來說，這起爭議短期內不會改變全球 EUV 供應格局。ASML 仍是 EUV 唯一來源，台積電也仍是全球最重要的 EUV 客戶之一。不過事件凸顯 EUV 已不只是半導體設備，而是全球科技戰中的戰略資產；誰能取得、使用與維護 EUV，直接關係到先進晶片製造能力。
（首圖來源：ASML）
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