提升製造業產品生產加工效率！由清華大學動力機械工程學系李明蒼教授領導的團隊，針對光電半導體產品開發創新雷射鍍膜製造技術，可於常壓常溫下進行，將多道工序縮減為一次工序，大幅縮短製程工序時間，並降低製程帶來的能源消耗及碳排。
半導體、光學、電子製造即台灣的「護國神山產業」，然而這些產業用電量與碳排放量也是全國之最；此外，傳統雷射直寫燒結圖樣化技術遇到需預先數小時製備奈米材料的瓶頸，化學藥劑用量多、材料穩定性低且難回收，為改良光電半導體產品製程並提升加工效率，清華大學動力機械工程學系李明蒼教授團隊開發出適用「金屬薄膜」、「透明導電薄膜」的創新雷射鍍膜及圖樣化技術。
透過耦合雷射與高活性離子反應流體，新技術將傳統多道工序簡化為一道工序，在常壓常溫環境下於三維自由曲面基板上選擇性形成圖樣化鍍膜，製作精細多樣的金屬及光電材料線路，調整反應流體成份後可於同一基板鍍製多種材料，降低元件基板在製程設備間移動導致的定位精度偏移，以及真空系統切換、多系統串聯造成的製程能耗。
團隊還結合工程物理模擬分析與人工智慧開發雷射製程模擬與分析技術，並藉揉合應用多重物理耦合模擬、人工智慧、光學即時監測分析等技術，進一步提升製程效率和穩定性。
研究團隊表示，目前開發完成的鍍膜材料與製程所製作的金屬微細導線電阻率，等同甚至優於其他相似製程，透明金屬氧化物導電膜光電性質也達商用水準。將其結合智慧化自動光學檢測技術，亦可用於線路或元件修復，進一步降低光電半導體與印刷電子製造產業的成本與碳排。
此技術未來可應用於三維電子半導體元件、軟性光電半導體元件、矽光子元件等極具未來市場價值的產品製造，如透明顯示裝置、溫控光學鏡片、精準健康醫療用的個人化穿戴式裝置等。
（首圖來源：取自團隊簡報/國科會）
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