Imec 成功實現了首次在 300 毫米晶圓上利用 EUV 微影技術進行固態奈米孔的晶圓級製造。這項創新將奈米孔技術從實驗室規模的概念，轉化為用於生物感測、基因組學和蛋白質組學的可擴展平台。
Imec 展示首次利用 EUV 微影實現的固態奈米孔的晶圓級製造 |
作者
PR Newswire|發布日期
2025 年 12 月 14 日 14:00 |
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