台灣科技大學和大量科技合作，針對半導體製程的耗材「拋光墊」，開發智慧動態監控系統，成功降低耗材成本，提高晶圓製程的效率。
台科大開發智慧系統，精準監測半導體耗材壽命 |
作者
中央社|發布日期
2019 年 10 月 05 日 14:45 |
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