為提升車用晶片良率及可靠性，半導體設備業者 KLA 宣布推出四款用於汽車晶片製造的全新設備，分別是 8935高產能圖案晶圓檢測系統、C205 寬帶等離子圖案晶圓檢測系統、Surfscan SP A2/A3 無圖案晶圓檢測系統，以及 I-PAT 線上缺陷部件平均測試篩選解決方案。
提升車用晶片良率、可靠性，KLA 全新檢測設備齊出籠 |
作者
侯 冠州|發布日期
2021 年 06 月 23 日 17:21 |
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