提升車用晶片良率、可靠性,KLA 全新檢測設備齊出籠

作者 | 發布日期 2021 年 06 月 23 日 17:21 | 分類 晶圓 , 晶片 , 材料、設備 Telegram share ! follow us in feedly


為提升車用晶片良率及可靠性,半導體設備業者 KLA 宣布推出四款用於汽車晶片製造的全新設備,分別是 8935高產能圖案晶圓檢測系統、C205 寬帶等離子圖案晶圓檢測系統、Surfscan SP A2/A3 無圖案晶圓檢測系統,以及 I-PAT 線上缺陷部件平均測試篩選解決方案。

KLA 表示,汽車行業在密切關注電氣化、互聯性、高級駕駛輔助和自動駕駛等領域的創新。這意味著汽車需要更多的電子設備,因而需要更多的半導體晶片;由於晶片在車輛駕駛和安全應用中的核心地位,其可靠性至關重要,因此汽車晶片必須達到嚴格的品質標準。

KLA 半導體製程控制業務部總裁Ahmad Khan更指出,如今的汽車包含數以千計的半導體晶片,用於感知周圍環境、做出駕駛決策和實施控制。這些晶片不能發生故障,也促使晶片製造商遠在晶片集成至車輛中之前,就在晶圓廠內採取新策略用以發現並減少可靠性缺陷。

新推出的檢測設備共有四款,包含新型 Surfscan SP A2/A3、8935 和 C205 檢測系統以及創新的 I-PAT 線上篩選解決方案。這些檢測儀構成了一個互補的缺陷發現、監控和控制解決方案,適用於汽車行業中較大設計節點的晶片製造。

▲ KLA 一口氣發表四款檢測新品,提升車用晶片良率和可靠度。

舉例來說,Surfscan SP A2/A3 無圖案晶圓檢測儀結合了 DUV 光學系統和先進算法,讓系統的靈敏度和速度足以在汽車晶片上識別並消除可能產生可靠性問題的製程缺陷,也確保製程設備以最佳的性能運行。C205 圖案晶圓檢測儀則採用了寬帶光照和 NanoPoint 技術,因而使其對於關鍵缺陷高度靈敏,同時可以加快新製程和設備的優化。

而 8935 圖案晶圓檢測儀採用新的光學技術和DefectWise AI解決方案,能夠以低噪比率捕獲各種關鍵缺陷,並快速準確地識別可能影響晶片最終品質的製程偏差,得以提高車用晶片產能。

另外,I-PAT 是一個運行於 KLA 檢測和資料分析系統中的創新線上篩選解決方案,利用 SPOT 量產平台上的定制機器學習算法和 Klarity 缺陷管理系統的統計分析功能來辨別異常的缺陷,進而從供應鏈中剔除有風險的晶片。

(首圖來源:KLA)