如何利用表面分析工具,抓出半導體製程缺陷 作者 TechNews|發布日期 2021 年 09 月 14 日 12:00 | 分類 晶片 , 材料、設備 | edit 現在面臨的失效現象,到底要用什麼工具找到汙染缺陷點?以及那些汙染缺陷,一定得用表面分析工具才能找到嗎? 本篇要告訴大家如何選擇適當表面分析工具,抓出製程缺陷。 繼續閱讀..