現在面臨的失效現象，到底要用什麼工具找到汙染缺陷點？以及那些汙染缺陷，一定得用表面分析工具才能找到嗎？
本篇要告訴大家如何選擇適當表面分析工具，抓出製程缺陷。
如何利用表面分析工具，抓出半導體製程缺陷 |
作者
TechNews|發布日期
2021 年 09 月 14 日 12:00 |
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Tag Archives: AES/XPS
