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層層 Delayer SEM 卻仍找不到異常點靠它解

作者 TechNews|發布日期 2021 年 09 月 28 日 12:00 |

分類晶片 , 材料、設備

待測樣品為多層結構，但 SEM 影像卻分辨不出各層材質？

已知 IC 有異常狀況，層層 Delayer 後，藉由 SEM 分析，卻什麼異常都看不到？