層層 Delayer SEM 卻仍找不到異常點 靠它解 |
作者 TechNews|發布日期 2021 年 09 月 28 日 12:00 | 分類 晶片 , 材料、設備 |
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如何利用表面分析工具,抓出半導體製程缺陷 |
作者 TechNews|發布日期 2021 年 09 月 14 日 12:00 | 分類 晶片 , 材料、設備 |
現在面臨的失效現象,到底要用什麼工具找到汙染缺陷點?以及那些汙染缺陷,一定得用表面分析工具才能找到嗎?
本篇要告訴大家如何選擇適當表面分析工具,抓出製程缺陷。