借力三大工具,精準量測樣品表面粗糙度 作者 TechNews|發布日期 2021 年 03 月 09 日 12:00 | 分類 晶圓 , 晶片 | edit “不同產品與製程,對粗糙度要求相異甚大,將影響後續鍍膜的附著性。 量測粗糙度藉以製程改善方向有其必要,該如何選擇到位的分析工具呢? 繼續閱讀..