他跟張忠謀學溝通，扭轉半導體規則

他改變了全球半導體產業技術路徑，讓老大哥英特爾（Intel）及設備商艾斯摩爾（ASML）、尼康（Nikon）等業內巨頭，捨棄耗費逾十億美元和數年的研究心力，跟著他與台積電一起轉彎。不但全球半導體製程得以往下推進 6 到 7 個世代，約 14 年時光，台積電也因此躋身一線大廠、主導業界規格。

他是中研院院士林本堅，台積電前研發副總經理。台積電董事長張忠謀曾稱，假如沒有林本堅及其團隊，「台積電的微影（半導體關鍵製程之一）不會有今天這規模」。

退休後在清華大學擔任特聘研究講座教授的林本堅，近日出版他第一本半自傳式著作，並與我們一起重溫當年他是如何扭轉乾坤。

林本堅在越南出生，至青春期才來台灣求學，說話語調細軟，過去部屬暱稱他「Burn（其英文名）爺爺」。他待人和善，但對所相信的事物和理念，卻不輕言退讓。

他的提案，同業主管批攪局

「雖千萬人，吾往矣！」林本堅如此形容他 2002 到 2004 年那改寫歷史的一役。

當時狀況是這樣的：隨著半導體製程往下演進，關鍵製程之一的微影，也得持續縮短光束波長。一直以來，業界習慣以空氣為媒介，是「乾式」的微影，但此技術卻已「撞牆」，在 157 奈米波長卡關。而當時任職台積電的林本堅卻跳脫框架，退回 157 奈米波長的上一世代，改用水做為介質，發展出「浸潤式微影」技術，讓光束波長一舉縮短至 134 奈米，突破瓶頸。

這樣的破框思維，起初卻是孤獨，甚至遭受敵意。

因其他業者已投入共計逾十億美元研發經費在乾式顯影上，接近當時台積電一整年的資本支出。林本堅的理論若被採用，等於宣告其他人前功盡棄。台積電前共同營運長蔣尚義為林本堅寫序：「（當年）確實有大公司的高層主管表達嚴重關切，希望我能管管他（林本堅），不要攪局。」

他做事前，會推演到窮盡

對內，林本堅要讓蔣尚義和張忠謀等主管埋單，對外，則要說服業界拋棄原有投入。

他的秘訣，是「徹底」兩字，徹底的思考，並徹底執行。「像下棋一樣，要先想好後面好幾步，」林本堅說，做事前，推演至窮盡，是他一直以來的習慣，「把所有可能一直想下去，（直到）想不到可能。」

一位曾和林本堅走過那一役的台積電主管記得，起初反對方常在國際研討會上與台積電針鋒相對，質疑以水做為介質易產生污染，且水中的氣泡會影響曝光等。對外界疑慮有備而來的林本堅，決定更徹底解決，便帶著團隊在半年內完成 3 篇論文，投稿到國際期刊，連還未被提出的質疑也一併設想、回應。「原本一個美國大廠的代表說他們絕不用這技術，結果一個（半導體製程）世代後，他們也用了。」

除了論理，林本堅的溝通也做得徹底，當時他跑遍美國、日本、荷蘭與德國等地，一一拜會業界，促使艾斯摩爾與尼康等廠商轉向。他說，溝通，是他從張忠謀身上學到重要的一課。

從他 2000 年加入台積電以來，張忠謀每一季便固定與三級主管們分兩梯次共進午餐，與副總經理們則每月聚會。會中張忠謀與主管們可從公司發展聊到國際政經情勢，包括台積電最核心的「誠信正直」、「承諾」等價值，也在其中凝聚，「董事長會鼓勵大家問他問題，有時候大家問得好，他就很高興的回答，什麼都不吃了。」

「想得徹底、做得徹底，是他的習慣，」和林本堅牽手 50 年的妻子黃修慧舉例，他擔任教會詩班指揮，許多成員不擅長讀五線譜，遇到重複段落的符號，常忘記回頭重唱，一般指揮會不斷糾正提醒，但林本堅則徹底解決問題，重新謄打歌譜，把重複符號後的譜直接寫出來，讓所有人能順利唱下去。