台積電南科先進製程新廠，首度將再生水運用工業生產引發疑慮，國發會主委陳美伶表示，已藉由督導平台關注，為配合產業生產需求，再生水標準符合南科相關先進製程所需。
陳美伶同時強調，一旦有異常情況會啟動緊急供水措施，對於製程及良率將有更高保障。
台積電晶圓 18 廠落腳南科，政府承諾會穩定供應水電，提出運用再生水方案，由於目前半導體晶圓生產都是用純水，台積電晶圓 18 廠使用再生水，市場關注是否會影響晶圓廠的生產品質與良率。
國家發展委員會主委陳美伶接受中央社記者訪問時表示，各項產業生產用水需配合產業生產需求，對於南科先進製程用水需求及標準，討論使用再生水時即與用水端商議過供水品質及標準，以兩段式 RO（逆滲透）作為供水規劃，相關水質應可符合南科相關先進製程所需。
陳美伶解釋，去年就已成立的「南科先進製程環境建置案進度督導平台」，是針對整個台南科學園區的先進製程成立，跨中央相關部會及台南市政府，主要是解決影響產業經營的關鍵問題。
陳美伶說，為協助業者排除投資障礙，行政院長賴清德主持多次加速投資台灣專案會議，就是為解決目前產業遇到的問題，除了南科先進製程，目前也針對中科園區議題解決處理中。
此外，南科管理局副局長蘇振綱受訪時指出，南科先進製程不只台積電部分，也有許多廠商需要使用到再生水，在會議中也針對這項議題協調處理，確保廠商使用需求。
蘇振綱說，針對廠商遇到的產業需求，從去年下半年就陸續召開會議並追蹤進度，因為先進製程廠商都是台灣重大投資，除蒐集廠商需求細節，也需要掌握進度，與中央部會與地方政府間進行協調。
台積電 5 奈米新廠晶圓 18 廠，是全球第一家進入 5 奈米製程的晶圓廠，資本投資新台幣 5,000 億元，計劃在 2020 年投入生產。
台積電 3 奈米、5 奈米廠先後確定落腳南部科學工業園區，面對水、電需求，台南市政府先在去年 4 月啟用曾文淨水場，每天增加 2 萬噸供水，也將永康污水處理廠升級再生水廠，預計 2020 年，每天可供應 1.5 萬噸工業用水。
（作者：陳政偉；首圖來源：科技新報）
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