KLA-Tencor 兩款新量測設備,支援 16 奈米積體電路生產

作者 | 發布日期 2015 年 03 月 05 日 14:06 | 分類 市場動態 , 晶片 , 會員專區 Telegram share ! follow us in feedly


KLA-Tencor Corporation 在 5 日推出兩款先進的量測設備,可支援 16 奈米(含)以下尺寸積體電路元件的研發和生產:Archer™ 500LCM 和 SpectraFilm™ LD10。Archer 500LCM overlay 測量設備在提升良率的所有階段提供了準確的 overlay error 回饋,可協助晶片製造商解決與 patterning 創新技術,例如 multi-patterning 和 spacer pitch splitting 相關的 overlay 問題。

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