火侯拿捏精準到位,半導體製程再進化

作者 | 發布日期 2017 年 11 月 23 日 12:00 | 分類 會員專區 , 材料、設備 , 零組件 Telegram share ! follow us in feedly


您能想像家用微波爐的低頻微波,也能應用於半導體製程嗎?集結交通大學、工研院、國家奈米元件實驗室三方之力的微波退火技術,成功克服多項技術難題,將學理落實於元件製程設備,展現節能與成本優勢,此項技術更榮獲 2017 全球百大科技研發獎

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