台積電 3 奈米廠的環評未過，引發不少政治人物攻訐，稱政府在阻礙自己的產業，如今經濟部正協助研擬解決方案，希望能在近期提出補件。
環保署環評大會在 14 日審查南科基地變更環差報告，但因未完整說明用水及用電增量來源，因此環評委員要求南科管理局補充資料，並強調經濟部水利署及台電應說明這些用電、用水的來源。環保團體召集人陳椒華指出，雖然擴廠的環差案在專案小組審查一次就通過，但卻有許多問題未釐清，包含實際空污排放量、排放污染物質是什麼都不清楚。
環團表示，興達電廠已經是老舊電廠，污染相當高應盡速將燃煤機組除役，改為天然氣發電裝置來改善空污。而最終環評大會也決議，要求經濟部水利署補充說明南部地區整體供水規劃，並請經濟部能源局及台電補充說明南部地區可能電源供應來源及供電規劃等，於下次環評大會時直接進閉門會議討論。
但目前問題在於台電主要供應南科電力的興達電廠其汰換老舊機組的時程在 2023 年，但台積電 3 奈米廠於 2022 年底第一期就要開始量產，這樣的話其電力來源恐怕很難符合環保標準。相關人士指出，興達電廠燃氣機組汰除有其時程安排，要提早到 2022 年相當困難。當時經濟部也表示，電廠機組除役涉及整體供電情勢，要因單一個案而提前有難度。
不過面對輿論壓力，經濟部長沈榮津還是親自動員與台電商討燃氣機組提前除役的可能性。台電表示，目前興達電廠工程是採先建後拆，新機組要先商轉，舊機組才會除役。而照台電之前的計畫，在燃氣 1 號新機 2023 年商轉後，燃煤 1 號、2 號機才會跟著除役。燃氣新機到底能多快商轉成為關鍵，至於再生能源要達 20% 的問題，經濟部表示，已請能源局協助購買綠電。
（首圖來源：台電官網）
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