台積電是全球晶圓代工領域的龍頭，當然創新研發能力也不可小覷，多年來積極地改進廠務系統，如今更引進人工智慧技術，創造更有效率的工業環境。
台積電為了在晶圓生產製程中有效替主機系統進行降溫，使用了冰水冷卻系統。當然這不算是創新，類似的系統其實在許多製造業中很常見，數十年前就有在運用。但在半導體業中，降溫系統又顯得特別重要，所以一直以來，台積電都持續在這方面進行改進，甚至擁有自己的冰水系統技術藍圖。
尤其據台積電分析，光冰水降溫系統其實就佔工廠整體耗電量相當大的一部分，在先進製程持續發展下，如何提升降溫效率並同時顧及節能便成為很大的課題。而如今，台積電應用了大數據分析，成功開發出業界第一個冰水系統最適節能控制程式，大幅改善整體設備運轉效能，預計每年將節省 1.8 億度的用電量，相當可觀。
智慧工業典範
台積電表示，空調系統在節能策略上一直是關鍵角色，半導體廠廠務用電平均占全廠用電近 47%，其中又以空調設備耗為最大宗，占廠務用電近 60%，所以這是最有效益的節能投資領域。目前公司使用的是雙溫度冰水冷卻系統，冰機運轉負載更低，並取消鍋爐以熱回收系統替代，並應用大數據分析，在不同季節及環境下，動態調整水溫。
因為透過引進 IT 技術，可以更好的協調整體系統運作，比專注於單一設備的節能效益更佳。所以台積電其實在前年就完成收集 50 萬筆與外氣、空調、製程冷卻水及散熱排氣相關的運轉數據後，結合冰水主機的莫里爾曲線及冰水泵、冷卻水泵、冷卻水塔等性能曲線，以迴歸分析開發出業界首創的冰水節能技術。
而如今人工智慧技術的發展更能將溫度精確控制在正負 2℃，節能效率上看 19%，並且在今年初成功導入全球 12 座 12 吋晶圓廠，不僅省電更能提升晶圓良率，從這些不起眼的小地方進一步累積出領先全球的競爭力。
（首圖來源：TSMC）
