台積電降低自來水用量,南科再生水廠 3 月完成主建

作者 | 發布日期 2021 年 02 月 26 日 14:20 | 分類 晶圓 , 晶片 , 材料、設備 Telegram share ! follow us in feedly


台積電南科再生水廠預計 3 月完成主體建築,將致力產出優於進水品質要求的再生水,成為全球首家導入工業再生水的先進晶圓廠。

為持續降低自來水用水量,台積電積極承諾並使用工業廢水與民生汙水的再生水,民國 104 年開始發展再生水技術,於 105 年打造全國第一條半導體工業再生水試產線,回收處理工業放流水。

台積電 109 年啟動南科再生水廠建廠工程,為台灣第一座民營再生水廠,預計 110 年 3 月完成主體建築,隨後將安裝系統、啟動試產並持續調校,致力產出優於進水品質要求的再生水。

台積電還以全物理壓濾的晶背研磨廢水再生技術,取代添加化學藥劑的混凝沉降法,處理半導體封裝製程大宗廢水、晶背研磨廢水,節省化學藥劑用量,同時產製品由原本的無機性汙泥,轉化為有價的高純度工業級矽產品。

台積電指出,晶背研磨廢水資源化系統於 109 年 7 月在先進封測 3 廠正式啟動,至 110 年 1 月共計回收逾 1.5 萬公噸晶背研磨廢水,成功產製 30 公噸工業級矽產品。台積電預計 111 年擴大導入目前興建中的先進封測 2 廠第二期、先進封測 6 廠,朝資源永續的目標持續邁進。

(作者:張建中;首圖來源:台積電

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