工研院攜手英國牛津儀器,布局下世代半導體檢測

作者 | 發布日期 2021 年 11 月 02 日 16:15 | 分類 光電科技 , 材料、設備 , 零組件 Telegram share ! follow us in feedly
牛津儀器


工研院今天宣布,與英國牛津儀器(Oxford Instruments)簽署合作備忘錄,共同布局下世代半導體檢測技術。

工研院副院長彭裕民透過新聞稿表示,工研院擁有豐沛的半導體與光電研發能量與人才,目前已針對微縮到2至3奈米製程,開發前瞻性技術檢測能力。

彭裕民指出,工研院自2017年開始與牛津儀器在半導體光電元件開發與設備技術合作,雙方具有良好合作默契,這次合作將共同開發先進製程前瞻量測技術,並建立工業量產良率監控關鍵工具,加速雙方及產業的技術進步。

工研院表示,2020年半導體計量檢測設備市場規模為41.647億美元,預估至2026年將達到53.734億美元,極具發展潛力。這次與牛津儀器合作,期能有助加速國內前瞻半導體技術應用,發展更完整的半導體生態系統。

(作者:張建中;首圖來源:Oxford Instruments