應用半導體曝光微影！陽明交大與跨國團隊開發「真空紫外超穎透鏡」
作者 | 發布日期 2022 年 06 月 28 日 11:13 | 分類 光電科技 , 半導體 , 會員專區 line share Linkedin share follow us in feedly line share
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應用半導體曝光微影！陽明交大與跨國團隊開發「真空紫外超穎透鏡」

為有效控制紫外光，陽明交大電子研究所助理教授曾銘綸與美國萊斯大學、香港城市大學、國立聯合大學、中央研究院共同合作，開發出可有效產生，並聚焦紫外光的奈米超穎透鏡（Metasurface lens, Metalens）。

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