ASML 在台推進 2 奈米研發全球首創,經濟部通過申請補助

作者 | 發布日期 2023 年 06 月 01 日 11:30 | 分類 半導體 , 晶圓 , 晶片 line share follow us in feedly line share
ASML 在台推進 2 奈米研發全球首創,經濟部通過申請補助


半導體設備大廠艾司摩爾(ASML)擴大在台投資,經濟部核定通過艾司摩爾 2 奈米晶圓光學量測設備研發製造計畫,總經費為新台幣 9.5 億元。經濟部指出,ASML 在台推進 2 奈米設備是全球首創,同時可提升本土供應鏈量能。

經濟部表示,核定通過艾司摩爾「下世代晶圓量測設備研發夥伴計畫」,計畫總經費為9.5億元,其中,經濟部補助2.85億元,占總經費30%,計畫執行期間為2年。

「下世代晶圓量測設備研發夥伴計畫」聚焦2奈米晶圓光學量測設備研發製造,經濟部官員表示,艾司摩爾選擇在台研發全球唯一的2奈米量測設備,2奈米設備未來將進駐艾司摩爾的林口新廠生產,相關的晶圓精密定位平台等核心技術也會在台灣落地。

經濟部官員表示,希望艾司摩爾投資能帶動台灣供應鏈,雙方磋商期間,經濟部在推薦合作廠商時花費較多時間討論,最終艾司摩爾同意將自給率提高至35%、增加6家台灣供應商,以及在台採購金額拉高至每年72億元。

經濟部官員表示,艾司摩爾選擇加大力道投資台灣,主因為台灣有供應鏈系統支持,並且接近半導體客戶和供應商,透過技術合作可提升本土供應鏈量能。

(作者:劉千綾;首圖來源:ASML